点击图片查看原图蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。
如：硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。
蓝宝石抛光液的特点：
1.高抛光速率，利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。
2.高纯度（Cu含量小于50 ppb），有效减小对电子类产品的沾污。
3.高平坦度加工，蓝宝石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光，不会对加工件造成物理损伤，达到高平坦化加工。
蓝宝石抛光液根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。
蓝宝石抛光液的型号：
碱性型号（pH:9.8±0.5）：SOQ-2A、SOQ-4A、SOQ-6A、SOQ-8A、SOQ-10A、SOQ-12D
酸性型号（pH:2.8±0.5）：ASOQ-2A、ASOQ-4A、ASOQ-6A、ASOQ-8A、ASOQ-10A、ASOQ-12D
粒径(nm)： 10~30 30~50 50~70 70~90 90~110 110~130
外观： 乳白色或半透明液体
比重 1.15±0.05
组成 SiO2：15~30%
Na2O：≤0.3%
重金属杂质 ：≤50 ppb
